金屬磁控鍍膜的相關知識普及

更新時間：2025-07-08

點擊次數：69

　　金屬磁控鍍膜質量高，膜層組織細密，粗大的顆粒少，相比電弧離子鍍膜，其膜層質量更高。并且膜層與基材的結合力強，優于真空蒸發鍍膜，因為磁控濺射鍍膜技術中膜層粒子的能量較高，能夠在基材表面形成更牢固的結合；可以制備多種材料的薄膜，包括金屬、合金、氧化物、氮化物等，滿足不同領域對不同材料薄膜的需求。

　　由于磁場的作用，等離子體的穩定性得到提高，使得鍍膜過程更加穩定，有利于獲得均勻、致密的薄膜；通過調整工藝參數，如電壓、電流、氣體流量、磁場強度等，可以準確控制薄膜的厚度、成分、結構和性能，實現對薄膜質量和性能的精細調控；不僅適用于平面基材的鍍膜，還可以對復雜形狀的工件進行鍍膜，且能夠保持較好的膜層均勻性。

　　金屬磁控鍍膜的測定步驟：

　　1.準備工作：

　　-清潔基片：將基片放入乙醇、丙酮等有機溶劑中進行超聲波清洗，去除表面的油污和雜質，然后用去離子水沖洗干凈，用氮氣吹干。

　　-安裝基片：將清潔好的基片固定在鍍膜機的基片架上，確保基片與靶材之間的位置合適，且基片表面平整、無傾斜。

　　-檢查設備：檢查磁控鍍膜設備的真空系統、電源系統、控制系統等是否正常工作，確保各部件連接牢固，無松動或泄漏現象。

　　2.鍍膜過程：

　　-抽真空：啟動真空系統，將鍍膜室的真空度抽至所需的本底真空度，一般要求達到較高的真空度，以保證鍍膜的質量。

　　-設定參數：根據鍍膜的要求，設定磁控濺射的工藝參數，包括濺射功率、濺射電壓、濺射電流、工作氣壓、氣體流量等。不同的金屬靶材和基片材料，需要選擇不同的工藝參數。

　　-預熱靶材：在開始濺射之前，對靶材進行預熱處理，以提高靶材的濺射效率和鍍膜的均勻性。

　　-開始濺射：打開濺射電源，開始磁控濺射過程。在濺射過程中，要密切關注設備的運行狀態，如真空度、濺射電流、濺射電壓等參數的變化，確保鍍膜過程的穩定性。

　　3.后處理：

　　-冷卻降溫：鍍膜完成后，關閉濺射電源，讓鍍膜室自然冷卻至室溫。在冷卻過程中，要保持真空狀態，以防止薄膜氧化。